一、 設(shè)備名稱：半自動(dòng)七槽式清洗機(jī)
二、型號(hào)：
三、設(shè)備用途：用于污物清洗。
四、設(shè)備能力:
清洗節(jié)拍：4--6分鐘/籃。
母籃尺寸：480mm*420mm*400mm（采用SUS304制作）。
五.清洗工藝:
超聲波+鼓泡清洗→超聲波+鼓泡純水漂洗→超聲波+鼓泡堿洗→超聲波+鼓泡堿洗→超聲波+鼓泡純水漂洗→超聲波+鼓泡純水漂洗→超聲波+鼓泡純水漂洗
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工序名稱
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處理方式
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介質(zhì)
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溫度
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時(shí)間
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加熱功率
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1
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超聲波清洗
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超聲波+鼓泡+拋動(dòng) 2100W/40KHz
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市水
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30℃～70℃
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每4～6分鐘150片
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9KW
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2
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超聲波堿洗
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堿液
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3
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超聲波堿洗
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4
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超聲波堿洗
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5
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超聲波純水漂洗
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純水
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6
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超聲波純水漂洗
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7
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超聲波純水漂洗
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六.設(shè)備主要技術(shù)要求:
6.1 結(jié)構(gòu)組成
此清洗設(shè)備主要由槽式清洗主體、超聲波系統(tǒng)、拋動(dòng)機(jī)構(gòu)、電氣控制等部分組成。
6.2 設(shè)備描述
該清洗機(jī)是手動(dòng)操作，由由繼電器控制，7個(gè)由不銹鋼槽體制作的清洗槽、堿洗槽、漂洗槽組成的一條連續(xù)工作的裝置。整個(gè)過程是手工提籃，對(duì)硅片依次進(jìn)行清洗、堿洗、漂洗后，接著進(jìn)行下一道工序。
6.3設(shè)備主要技術(shù)要求：
6.3.1 第一槽：超聲波清洗槽
A．內(nèi)槽尺寸：580×550×550 （L×W×H mm），槽體采用2mm厚304材料制作。
B.超聲功率：2.1KW （底震式超聲振板，震動(dòng)面表面鍍硬鉻）；底振振板尺寸：480×450×80 （L×W×H mm）；振板采用2.5mm厚316材料制作。
C.超聲頻率：40KHZ/50W 超聲功率連續(xù)可調(diào)可顯示，可單獨(dú)控制，配有掃描電路，并設(shè)有電流大小指示表。
D．加熱功率：9KW，采用日本歐姆龍數(shù)顯溫控器控溫，溫度可調(diào)整、設(shè)定。溫控范圍：RT-100℃可調(diào)，溫控精度：設(shè)定值的±3℃。
E．保溫：槽外包保溫棉。
F.清洗槽設(shè)進(jìn)水口、排液口、溢流口；進(jìn)水管、排液管均設(shè)有閥門，水從溢流口流出，
通過總排水管排到排水道。
G．進(jìn)水管、氣管均自上往下連接。
H．拋動(dòng)：在清洗過程中邊清洗邊拋動(dòng)。
I．鼓泡：在槽里裝有鼓泡管，與需方的氣管路連接，通過手動(dòng)閥門控制。
J．清 洗 液:自來水。
6.3.2 第二、三、四槽：超聲波堿洗槽
A．內(nèi)槽尺寸：580×550×550 （L×W×H mm），槽體采用2mm厚304材料制作。
B.超聲功率：2.1KW （底震式超聲振板，震動(dòng)面表面鍍硬鉻）；底振振板尺寸：480×450×80 （L×W×H mm）；振板采用2.5mm厚316材料制作。
C.超聲頻率：40KHZ /50W 超聲功率連續(xù)可調(diào)可顯示，可單獨(dú)控制，配有掃描電路，并設(shè)有電流大小指示表。
D．加熱功率：9KW，采用日本歐姆龍數(shù)顯溫控器控溫，溫度可調(diào)整、設(shè)定。溫控范圍：RT-100℃可調(diào)，溫控精度：設(shè)定值的±3℃。
E．保溫：槽外包保溫棉。
F. 清洗槽設(shè)進(jìn)水口、排液口、溢流口；進(jìn)水管、排液管均設(shè)有閥門；當(dāng)用為堿液清
洗時(shí)，溢流為停止?fàn)顟B(tài)。
G．進(jìn)水管、氣管均自上往下連接。
H．拋動(dòng)：在清洗過程中邊清洗邊拋動(dòng)。
I．鼓泡：在槽里裝有鼓泡管，與需方的氣管路連接，通過手動(dòng)閥門控制。
J．清 洗 液:堿液。
6.3.3 第五、六、七槽：超聲波純水漂洗槽
A．內(nèi)槽尺寸：580×550×550 （L×W×H mm），槽體采用2mm厚304材料制作。
B.超聲功率：2.1KW （底震式超聲振板，震動(dòng)面表面鍍硬鉻）；底振振板尺寸：480×450×80 （L×W×H mm）；振板采用2.5mm厚316材料制作。
C.超聲頻率：40KHZ /50W 超聲功率連續(xù)可調(diào)可顯示，可單獨(dú)控制，配有掃描電路，并設(shè)有電流大小指示表。
D．加熱功率：9KW，采用日本歐姆龍數(shù)顯溫控器控溫，溫度可調(diào)整、設(shè)定。溫控范圍：RT-100℃可調(diào)，溫控精度：設(shè)定值的±3℃。
E．保溫：槽外包保溫棉。
F. 漂洗槽設(shè)進(jìn)水口、排液口、溢流口；進(jìn)水管、排液管均設(shè)有閥門，水從溢流口流
出，通過總排水管排到排水道。
G．進(jìn)水管、氣管均自上往下連接。
H．拋動(dòng)：在清洗過程中邊清洗邊拋動(dòng)。
I．鼓泡：在槽里裝有鼓泡管，與需方的氣管路連接，通過手動(dòng)閥門控制。
J．清 洗 液:純水。
6.3.4超聲波技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn)
（1） 超聲波發(fā)生器采用目前國(guó)際領(lǐng)先的他激式震蕩線路結(jié)構(gòu)，較以前的自激式震蕩線路結(jié)構(gòu)在輸出功率增加15%以上。
（2） 超聲波發(fā)生器裝置工作電壓AC220±10V。超聲波發(fā)生器具有過壓，過流，輸出短路等保護(hù)措施。
（3） 超聲波發(fā)生器有頻率微調(diào)的功能，調(diào)整范圍2%，在不同的工況條件下略微調(diào)整使換能器始終工作在最佳狀態(tài)下，換能效率達(dá)到最大，在不同工況下都能達(dá)到最佳效果。
（4） 超聲波發(fā)生器具有掃頻功能，通過在清洗過程中超聲波頻率在合理的范圍內(nèi)往復(fù)掃動(dòng)，帶動(dòng)清洗液形成細(xì)微回流，使工件污垢在被超聲剝離的同時(shí)迅速帶離工件表面，提高清洗效率。
（5） 超聲波發(fā)生器具有功率無級(jí)調(diào)節(jié)的功能，輸出功率可實(shí)現(xiàn)10%——100%的連續(xù)調(diào)整，以適應(yīng)各種清對(duì)象的要求。